集成电路杀手：可怕的静电

一、ESA（Electro Static Attraction）静电吸附我们知道IC生产工艺要求的是洁净车间或超净车间。但国内很少有厂家能做到无尘室里一粒particle都没有，现在要求灰尘颗粒粒径由原来的0.3μm降低到现在的0.1μm，但如果吸附的灰尘粒子的粒径大于线条宽度时，很容易使产品报废。有...

2023-06-13 集成电路可怕静电文章基础课电子技术基础