真空继电器是真空系统自动控制的关键元件，是真空应用和真空获得设备配套最常用的配件之一。它可以直接对真空系统（真空空间、容器或管道内）的真空度进行可靠而精确的设定、控制，以达到特定的真空应用工艺要求。
真空继电器的性能
1、真空继电器是将触点置于抽成高真空的玻璃壳或陶瓷壳内，以真空作为灭弧和绝缘介质的继电器。
2、真空具有理想的绝缘性能，在理想状态下可能达到80000V／mm的介电常数，真空中由于没有氧气，所以在使用过程中不会氧化，这样，真空继电器在使用过程中就具有较小而稳定的接触电阻。
3、真空具有良好的灭弧性能。真空中的电弧很容易扩散，不易造成触点的磨损，所以真空继电器具有寿命长的特点，能够带负载开关。综合而言，真空继电器具有耐击穿电压高、熄弧快、开断电流大、体积小、重量轻、寿命长的特点。广泛应用于心脏起搏器、核磁共振成像、高频天线耦合装置、雷达、电容器放电等弱电控制强电的领域中．
4、抗电强度高，额定承载电流和转换电流大，触点接触电阻小，工作稳定，噪声低，极间分布电容和电感小，触点开距小，励磺功率低，开断速度快，触点密封，不受周围环境的气压、水分、沙尘或爆炸气体的影响，适应于恶劣环境中工作。
真空继电器技术参数
1、控制调节范围：133.3Pa～101.325kPa（1～760托）。
2、真空度开关量传感器精度：0.5%FS±30Pa
3、使用条件：：真空度开关量传感器《120℃;（F型：《250℃;）
电控器：环境温度-10～45℃;，相对湿度小于85%（在20℃时）；无强烈的机械振动和腐蚀性气体。
4、使用寿命：55000次以上。
5、负载条件：A.C220V./5A。
6、电源电压：A.C/220V/50HZ;（110V/60HZ定制）/3W
7、电控器外形尺寸：140×80×50mm3
8、重量：每套1.33kg。
真空继电器的分类
①排气式结构，共同特点是有排气管，需要通过真空排气台进行排气。衔铁动作机构位于真空系统内部，如图所示，控制电流流过线圈产生的电磁力使置于真空内的铰链衔铁动作，带动动触点动作，完成开断或接通动作。
②膜片式结构，特点是不需要进行排气，其真空系统通过真空焊接炉直接获得，衔铁机构位于真空室外，衔铁的运动通过弹性密封膜片传人真空室内部，如图所示。