简述压阻式传感器的应用

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简介:压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。

压阻式传感器有很多优点:

(1)频率响应高:固有振动频率可达1。5MHz,是个很好的动态传感器。

(2)体积小,重量轻:传感器外径可做到0。8mm,目前最小可达0。25mm,可做成微型传感器。

(3)灵敏度高:比金属应变片高出几十倍。

(4)精度高:传感器的精度可达到0。1%,甚至达到0。05%。

(5)没有运动组件,所以工作可靠、耐震、耐冲击、耐腐蚀、抗干扰力强,可工作在就较恶劣的环境之中。

(6)压阻式传感器也有缺点:受温度影响大,制造工艺复杂。

由于压阻式传感器的独特优点,它在航天、航海、石油、化工、生物、医学工程、气象、地震等许多部门获得了广泛应用。

1、航空工业中的应用。在航空工业技术中压力是一个关键参数,测试中不仅要测静压,还要的动压;不仅要测稳态压力,还要测脉动压力;不仅要测局部压力,还要测整个压力场。因而对测试系统要求越来越高,特别需要精度高、体积小、重量轻、工作可靠、相应快的压力传感器,这些要求正是压阻式传感器广泛应用的原因。

2、生物医学上的应用。尺寸小,可靠性高,压阻式压力传感器成为生物医学上的理想传感器。

3、爆炸压力和冲击波的测量。压阻式压力传感器可广泛应用于爆炸压力和冲击波的测量之中。

4、兵器工业上的应用。压阻式压力传感器具有频率高、动态响应快、体积小的特点、可用来测量枪炮腔内压力。传感器安装在枪炮的管身上或装入药筒底部。

5、防爆压力传感器。压阻式传感器的检测电桥所带电压、电流非常小,均在可燃液体和气体的许可值以下,同时,能作成很好绝缘密封,是较理想的防爆压力传感器。

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