嵌入式微处理器(EMPU)
嵌入式微处理器的基础是通用计算机中的CPU。在应用中，将微处理器装配在专门设计的电路板上，只保留和嵌入式应用有关的母板功能，这样可以大幅度减小系统体积和功耗。为了满足嵌入式应用的特殊要求，嵌入式微处理器虽然在功能上和标准微处理器基本是一样的，但在工作温度、抗电磁干扰、可靠性等方面一般都作了各种增强。
和工业控制计算机相比，嵌入式微处理器具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高的优点，但是在电路板上必须包括ROM、RAM、总线接口、各种外设等器件，从而降低了系统的可靠性，技术保密性也较差。嵌入式微处理器及其存储器、总线、外设等安装在1块电路板上，称为单板计算机，如STD-BUS、PC104等。近年来，德国、日本的一些公司又开发出了“火柴盒”式名片大小的嵌入式计算机系列OEM产品。
嵌入式微处理器目前主要有Am186/88、386EX、SC400、Power PC、68000、MIPS、ARM系列等。
嵌入式微控制器(MCU)
嵌入式微控制器又称单片机，顾名思义，就是将整个计算机系统集成到1块芯片中。嵌入式微控制器一般以某一种微处理器内核为核心，芯片内部集成ROM/EPROM、RAM、总线、总线逻辑、定时器/计数器、WatchDog、I/O、串行口、脉宽调制输出、A/D、D/A、Flash、EEPR-OM等各种必要功能和外设。为适应不同的应用需求，一般一个系列的单片机具有多种衍生产品，每种衍生产品的处理器内核都是一样的，不同的是存储器和外设的配置及封装。这样可以使单片机最大限度地和应用需求相匹配，功能不多不少，从而减少功耗和成本。
和嵌入式微处理器相比，微控制器的最大特点是单片化——体积大大减小，从而使功耗和成本下降，可靠性提高。微控制器是目前嵌入式系统工业的主流。微控制器的片上外设资源一般比较丰富，适合于控制，因此称微控制器。
嵌入式微控制器目前的品种和数量最多，比较有代表性的通用系列包括8051、P51XA、MCS-251、MCS-96/196/296、C166/167、MC68HC 05/11/12/16、68300等。另外还有许多半通用系列，如支持USB接口的MCU8XC930/931、C54O、C541;支持I2C、CAN-Bus、LCD及众多专用MCU和兼容系列。目前MCU占嵌入式系统约70%的市场份额。特别值得注意的是，近年来提供X86微处理器的著名厂商AMD公司将Aml86CC/CH /CU等嵌入式处理器称为MicroController，Motorola公司把以Power PC为基础的PPC505和PPC555亦列入单片机行列，TI公司亦将其TMS320C-2XXX系列DSP作为MCU进行推广。
嵌入式DSP处理器(EDSP)
DSP处理器对系统结构和指令进行了特殊设计，使其适合于执行DSP算法，编译效率较高，指令执行速度也较高。在数字滤波、FFT、谱分析等方面，DSP算法正在大量进入嵌入式领域。DSP应用正在从通用单片机中以普通指令实现DSP功能，过渡到采用嵌入式DSP处理器。嵌入式DSP处理器有2个发展来源：一是DSP处理器经过单片化、EMC改造、增加片上外设，成为嵌入式DSP处理器，TI公司的TMS320C2000/C5000等属于此范畴;二是在通用单片机或SoC中增加I)SP协处理器，例如Intel公司的MCS-296和Siemens公司的TriCore。推动嵌入式DSP处理器发展的另一个因素是嵌入式系统的智能化，例如各种带有智能逻辑的消费类产品、生物信息识别终端、带有加解密算法的键盘、ADSL接入、实时语音压解系统、虚拟现实显示等。这类智能化算法一般都运算量较大，特别是向量运算、指针线性寻址等较多，而这些正是DSP处理器的长处所在。
嵌入式DSP处理器比较有代表性的产品是TI公司的TMS320系列和Motorola公司的DSP56000系列。TMS320系列处理器包括用于控制的C2000系列、移动通信的C5000系列，以及性能更高的C6000和C8000系列。DSP56000目前已经发展成为DSP56000、DSP56100、DSP56200和DSP56300等几个不同系列的处理器。另外Philips公司也推出了基于可重构嵌入式DSP结构低成本、低功耗技术制造的R.E.A.L DSP处理器，特点是具备双Harvard结构和双乘/累加单元，应用目标是消费类产品。
嵌入式片上系统(SoC)
随着EDI的推广和VLSI设计的普及化，及半导体工艺的迅速发展，在1个硅片上实现更为复杂系统的时代已来临，这就是SoC。各种通用处理器内核将作为SoC设计公司的标准库，和许多其他嵌入式系统外设一样，成为VLSI设计中的标准器件，用标准的VHDL等语言描述，存储在器件库中。用户只需定义整个应用系统，仿真通过后就可以将设计图交给半导体工厂制作样品。这样除个别无法集成的器件以外，整个嵌入式系统大部分可集成到1块或几块芯片中去，应用系统电路板将变得很简洁，对于减小体积和功耗、提高可靠性非常有利。
SoC可以分为通用和专用2类。通用系列包括Siemens公司的TriCore、Motorola公司的M-Core、某些ARM系列器件、Echelon公司和Motoro-la公司联合研制的Neuron芯片等。专用SoC一般专用于某个或某类系统中，不为一般用户所知。