硅湿敏电阻器是由硅粉掺人少量金属氧化物烧结而成的，具有电阻值随大气相对温度变化而变化的特性。
硅湿敏电阻器具有以下特点:
①体积小，重量轻，寿命长，成本低，且具有优良的机械强度。
②抗水性好。可在相对湿度很大或很小(10O%RH-O%RH)的环境中重复使用，在，l0O%RH的水蒸气里可照常工作，甚至短时司内浸大水中也不致完全失效。③响应时间短。比如在2O℃时，把湿敏电阻从30%RH环境移入90%RH环境中，当电阻值改变全程的63%，响应时间不大于55。
④抗污染能力强。抗污染能力的好坏直接影响湿敏元件工作可靠性及使用寿命。硅湿敏电阻器的抗污染能力极强，在微量的碱、酸、盐及灰尘空气中可证常工作，不会失效。
⑤阻值变化范围大。在温度为2OC的条件下相对湿度在30%RH-90%RH范围变化时，元件的阻值在数量级范围内变化，常用阻值位于一个容易测量的范围内(70%RH时为4OkΩ)。