利用表面微加工技术实现加速度检测创新 表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路，可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的表面微加工传感器。 此后，人们往各个领域进行了探索。 最新的开发工作关注三个方面： 提高加速度计性能、... 2023-06-13 表面微加工加速度计传感器文章课设毕设传感器类
