微机电系统(MEMS)加工及技术基础 微机电系统微机电系统技术统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。硅硅是用来制造集成电路的主要原材料。由于在电子工业中已经有许多实用硅制造极小的结构的经验，硅也是微机电系统非常常用的原材料。硅的物质特性也有一定的优点。单晶体的硅遵守胡克定... 2023-06-13 微机电系统加工技术文章基础课微机原理
