MEMS与CMOS技术的异同

在某种程度上，MEMS可以看作CMOS集成电路的扩展。如果将CMOS比喻为人的大脑和神经网络，那么MEMS就是大脑智慧的“手臂”，为这信息系统提供了获取信号的微传感器和执行命令的微执行器。生产MEMS与CMOS集成芯片也还存在以下问题：1)与IC半导体芯片相比，MEMS器件需要用到...

2023-06-13 MEMSCMOS技术异同文章基础课电子技术基础