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电容式MEMS麦克风读出电路设计 1 引言与传统的驻极体电容式麦克风相比,电容式MEMS麦克风具有以下优势:1)性能稳定,温度系数低,受湿度和机械振动的影响小;2)成本低廉;3)体积小巧,电容式MEMS麦克风的背极板和振膜仅有最小的驻极体电容式麦克风的1/10左右;4)功耗更低。以上几方面的优势使电容式MEMS麦克风得到... 2023-06-13 电容式MEMS麦克风读出电路失调电压消除文章课设毕设传感器类