IC芯片的晶圆级射频（RF）测试 对于超薄介质，由于存在大的漏电和非线性，通过标准I-V和C-V测试不能直接提取氧化层电容(Cox)。然而，使用高频电路模型则能够精确提取这些参数。随着业界迈向65nm及以下的节点，对于高性能/低成本数字电路，RF电路，以及模拟/数模混合电路中的器件，这方面的挑战也在增加。减少使用RF... 2023-06-13 IC芯片晶圆级射频测试RF测试文章硬件设计芯片IC
