扩散型压力传感器 - 第1页

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传感器简易流体强计电路

使用扩散型半导体压力换能器（下称扩散型压力传感器），能较容易地将流体压力变换成电量。这种扩散型压力传感器制作在几mm2的硅片上，按电桥形式设置扩散电阻，芯片面上受压力作用导致电阻值发生变化，利用这种现象将压力变成电信号。硅片腐蚀成几十μΜ，由厚度即可确定标称压力...