利用带隙电压参考电路进行铜应力测量的新方法 简介铜金属化不仅用于低功率逻辑电路，而且用于高功率汽车应用，因为其具有低电阻和可重复箝位鲁棒性。如何确定铜（Cu）应力是BEOL集成方案中的关键问题。在本文中，我们设计了一个具有带隙参考电压和过压功能的电路，能通过电气测量，确定Cu应力和线内晶圆弯曲度之间的关系。1 前言铜... 2023-06-13 带隙电压测量文章课设毕设测量类
